此設備主要用于對切片后的晶圓棒進行剝離清洗。能全自動的分離晶圓,進行單片化,洗凈,以及裝填至片盒的一連串動作。產品特性:英寸及12英寸晶圓用2種機型特殊設計的上片裝置, 可與各公司的切片機的晶圓棒托盤直接進行處理可對應各種水溶性或油性清洗液。洗凈液經過特殊過濾后,可循環往復使用。極大降低使用成本高處理速度可選配多種附加功能:晶圓表面文字刻印、晶圓外周殘膠自動檢查、晶圓翻轉裝填、累積式裝填等等設備操
查看詳情此設備主要用于對切片后的晶圓棒進行剝離清洗。能全自動的分離晶圓,進行單片化,洗凈,以及裝填至片盒的一連串動作。產品特性:英寸及12英寸晶圓用2種機型特殊設計的上片裝置, 可與各公司的切片機的晶圓棒托盤直接進行處理可對應各種水溶性或油性清洗液。洗凈液經過特殊過濾后,可循環往復使用。極大降低使用成本高處理速度可選配多種附加功能:晶圓表面文字刻印、晶圓外周殘膠自動檢查、晶圓翻轉裝填、累積式裝填等等設備操
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