此設備主要用于對切片后的晶圓棒進行剝離清洗。能全自動的分離晶圓，進行單片化，洗凈，以及裝填至片盒的一連串動作。

產品特性：

英寸及12英寸晶圓用2種機型

特殊設計的上片裝置， 可與各公司的切片機的晶圓棒托盤直接進行處理

可對應各種水溶性或油性清洗液。洗凈液經過特殊過濾后，可循環往復使用。極大降低使用成本

高處理速度

可選配多種附加功能:晶圓表面文字刻印、晶圓外周殘膠自動檢查、晶圓翻轉裝填、累積式裝填等等

設備操作流程：

產品規格：